日本SIMCOION空间除静电器4214

対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统4214

负离子4214模型（离子系统制造），可以实现一个良好的离子平衡，对应延长ISO Class1，10nm的”高纯度氮气离子系统。

特征

· 采用单结晶硅电极支持超低粒子。

· 确保一个稳定的长期自身机制的清洁不干净颗粒释放到外部

· 采用智能控制电路，不需要任何调整

· 离子一代不断监测传感器的内部器官，取得了一定的电离

· 内置的集成电源控制器的设计紧凑

· 在低流量，高电压自动关机功能保护产品

· 最适合超低粒子半导体制造工艺的尖端

· 24V直流驱动器

规范

输入电压	24V DC + / -5％6W典型。
离子平衡	<+ /-25V无40LPM距离150毫米管道连接
放电时间	<10秒，无管道连接40LPM距离150毫米 + /-1KV→/ - 100V充电平板显示器
离子生成方法	高频交流电晕放电法
卫生	ISO Class1的，“的ISO Class1的，10nm的延伸”0.1微米*
电极	可以更换单晶硅
支持吹扫气体	N2> 99.998％
流	40LPM（36.5Kpa）〜90LPM（171kpa）
最大压力吹扫	（流量= 100LPM）207Kpa
最大的气体温度	60degÇ
氮气吹扫连接	水暖Swagelok3 / 8“OD
N2连接电离	1/4NPT内螺纹连接选项或联合管道连接Swagelok1 / 2“外径28-25710-SC
工作温度范围	15〜60degç
信号输出	打开/关闭，离子产量下降的报警和接触
维	的深度72.4毫米x152.4毫米x 32毫米宽长度的管段不包括在内
重量	640克
外观	不锈钢
安装方法	长度超过10mm M5 Nejineji回少