SIMCOION対応延长高纯度氮气离子系统4214

SIMCOION対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统4214

4214静电消除器是一款即使在N2的环境下也可以对应“延长ISO Class1,10nm”的高清洁静电消除器，以达到更好的离子平衡效果。

特征

· 采用对应超低颗粒的单结晶硅电极。

· 通过自身的清洁机构，超低颗粒不释放到外部，以确保长时间清洁度的稳定。

· 采用智能控制电路，不需要任何调整。

· 内置传感器可随时监测离子发生情况，以达到良好的除电效果。

· 控制器和电源内置的紧湊一体型设计。

· 当低流量时，高电压自动切断机能而达到产品的保护。

· 最适合先端半导体制造工程情况下的超低颗粒。

· 24V DC驱动。

规格

规范

输入电压		24V DC+/-5% 6W Typ.
离子平衡		<+/-25V 150mm距离 40LPM配管接口无
	放电时间		10sec 150mm 距离 40LPM配管接口无通过带电平板显示器 +/-1kv → +/- 100v
	离子生成方法		高频电晕放电式高频率AC式
	清洁度		ISO Class1,0.1 micron"延长ISO Class1,10nm"*
	电极		单晶硅可换
	对应气流		N2> 99.998％
	流量		40LPM（36.5Kpa）〜90LPM（171kpa）
	最大气压		（流量= 100LPM）207Kpa
	最大气体温度		60degÇ
	氮气接口		Swagelok3/8" OD 配管
	离子化氮气接口		1/4NPT内螺纹连接器或通过联合选项28-25710-SC接续 Swagelok1/2"OD配管
	工作温度范围		15〜60degç
	信号输出		通过Open/Close接点，报警及离子输出减少
	尺寸		长152.4mm宽72.4mm高32mm
	重量		640g
	外观		不锈钢
	安装方法		内部为M5的螺丝，螺丝长不足10mm

关于“延长ISO Class1,10nm”

为了应对微小型颗料，基于ION Systems而自定的清洁度的定度。ISO14644-1是最小粒径在100nm的定义。ISO Class1,10nm用了和ISO14644-1一样的容许颗粒数的计算方式。这个容许颗料数在粒径为10nm以下1200pc/ m3(34 pc/ft3)。

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