采用在世界上无与伦比的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。

单晶硅电极材料在世界上拥有无与伦比的优势，可以避免重金属污染的风险与超低粒子的特性。

通过脉冲DC方式可以广范围的除电。

全程数字电路控制，实现稳定的离子发生方式及维护长时间的离子平衡。

除电物附近设置有5200-SR传感器，不仅是离子风棒，除电物附近的离子平衡的反馈数据也可以得到控制（5200-SR没有接续的情况下，离子风棒内置的传感器可以自动调整离子平衡）

设定了适合半导体前工程用的EFEM长度的离子风棒。

离子发生力，离子产生时间，报警阈值等各种参数，在较大的范围内也可以设定。可以灵活的应对长距离操作及气流环境较弱的球境下的测量。

只有在输入相关的参数后可以得到较高的重复性及在短时间内的安置的可能。

装有简单的警报IO，通过利用无偿提供的DLL可以实时监控到时间进度把握程序装置内的运转状况。

型号5225 AeroBar

输入电压

通过24V AC, 50/60Hz, 1W Typ. IM6T供给

沟通的形式

RS485（IM6T〜5225之间）

输出电压

0kv～約+/-20kv

输出形式

直流脉冲模式，稳态直流模式（可选）

输出电流

<内置一个15micro A的电流及电压限制器）

连接器

RJ11.4极4芯

离子产生时序

最小0.1秒，最大10秒，可根据正负极进行设置

电极

单晶硅电极可更换

臭氧发生器金额

<0.005ppm（24小时累计测量值）

对应清洁度

ISO Class1, 0.1 micron

尺寸

高53mm*宽34mm*长569mm(-22), 721mm(-28),

907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64),

1918mm(-76) 及 2144mm (-84)

重量

-22:1.02kg 每增长30cm增重0.17kg

外观

ABS树脂

接口模块5200-IM6T