低频声波清灰器由压缩空气、氮气为主要的动力源，气源经过腔体及膜片产生低频振动。通过高能量声波到扩声筒，在被清设备里产生球面纵波的形式，共振无死角，清理物体表面的灰尘，使积灰、挂料产生疲劳而剥离，从而达到清灰的目的。