基板尺寸

长：70W×70L mm 
     高：保持面上  10mm 以下

装置尺寸

652W×411D×425Hmm

加热方式

上面：热风・远红外线辐射過热
     下面：远红外线辐射加热

冷却方式

外部气体（氮气或空气）导入 
     冷却用流量调整弁付

电源

3 相  200V 50/60Hz    1.5kVA

外部气体

0.3～0.5MPa    100 升/min    (MAX)

炉内氧气浓度（氮气使用的时候）

最低 100ppm

基板托盘

平托盘

上面加热

热风式：约 675W(约 75W×3 本×3 列) 
     ※可以对标准管口进行偏差设定 
     红外线加热器：约 300W

下面加热

红外线加热器：约 240W

温度精度

5℃以内  (最大基板中央  50W×50L mm 范围内)

测定温度

常温～330℃

测定点数

3 测定点

氮气供给机能

流量调整阀：100 升/min

装置重量

约 50kg

测定范围

X 轴方向：最大 70mm 
     Y 轴方向：最大 70mm 
     Z 轴方向：标准点 0～3mm

变位计分辨能

最大 0.2μm

X-Y 轴驱动速度

最大 45mm/s（加減速度除外）

测定点

最大 19 点（以在任意的时间及温度内连续的计测指定范围）