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产品名称
GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪
产品型号
GSL-1800X-ZF4
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、工作台:落地式,占地面积2m2以上。
4、通风装置:需要
主要特点
1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
2、采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。
3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,提高效率)、1个CF150闸板阀(直接与分子泵相连)、1个KF16法兰(安装电阻规)、6个CF35法兰(1个安装电离规,1个安装2芯电极,1个安装膜厚仪)
4、在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。
5、样品台安装在腔体的顶部。
6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,膜厚测量分辨率(铝)为0.1Å。
7、可使用循环水冷机。
技术参数
1、输入:单相AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW(不含真空泵)
2、蒸发输出:电压AC 0-8V连续可调,极限蒸发电流200A,极限蒸发功率<1.6KW
3、真空腔:Ø300mm(内径)×400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理
4、观察窗:Ø100mm,采用专用密封圈密封
5、真空泵:高抽速涡轮分子泵,抽速600L/s
6、真空度:8.0x10-4Pa
7、极限真空8.0x10-5Pa
8、漏率:6.7×10-8Pa·L/S
9、样品台:φ120
10、蒸发舟与样品台间距:150-210mm
11、冷却水需量:15L/min
产品规格
尺寸:900mm×1100mm×1800mm;重量:230kg
3个备用。
- 询价产品:GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪
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