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产品型号:MicroNano STM-II型
品牌:2515971
公司名称:上海卓伦微纳米设备有限公司
所在地:上海浦东
发布时间:2010-08-30
联系人:郭强
产品简介
STM(Scanning Tunneling Microscope的简称)的工作原理来源于量子力学中的隧道效应原理。当金属探针在与导电样品非常接近时(小于1nm),控制探针在样品表面进行逐行扫描,检测探针与样品间隧道电流的变化来获取样品表面形貌、I-Z、I-V曲线等其它特性。
由于要在探针和样品间产生并传输隧道电流,所以只能检测导电样品。
产品详情
1.扫描系统:
1.1 扫描模式:STM恒流/恒高模式,I-Z/I-V曲线测量
1.2 最大扫描范围:6μm*6μm,单一多量程自适应扫描器不更换技术,单个扫描器可达HOPG原子分辨 精度(科研用STM可选配50/100微米大量程扫描器)
1.3 分辨率:X-Y向0.1nm;Z向0.01nm;HOPG原子定标,单一多量程自适应扫描器不更换技术
1.4 样品台尺寸:直径≤Φ40mm,厚度≤15mm,重量≤15g
1.5 探针识别:自动识别当前针尖类型,软硬件自动切换到相应的工作模式,无需人工干预。
1.6 探针保护:独特设计的针尖保护技术,包括自动进针保护和平滑移动保护,能有效降低样品对针尖的损伤,使仪器长时间保持高分辨图像。
1.7 探针趋近:高精度高速伺服电机,控制针尖自动逼近样品,行程<30mm,步长<23nm
1.8 样品移动:手动精密机械二维移动平台(移动范围5mm×5mm,精度3μm)。
1.9 纳米加工:矢量刻蚀功能 ,图形刻蚀功能
2.控制系统:
2.1 控制/采集精度:采用32位ARM技术,双16位扫描/采样差分同步独立高压放大专利技术,16通道双16 位A/D(精度相当于23位);12通道16位D/A;4通道双16位D/A(精度相当于23位)
2.2 反馈方式:8通道 数字化反馈+数控模拟反馈
2.3 高压单元:±300V 纹波噪声1.5mV;4通道双16位D/A(精度相当于23位)提供扫描器XYZ三个方向的控制电压;可扩展到8通道
2.4 计算机接口:EPP模式并行口 / USB2.0接口 可选
2.5 扫描频率:0.1~300Hz
2.6 扫描角度:-180?~180?连续可调
2.7 图像采样点:128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048 可调
2.8 电流检测灵敏度≤10pA
2.9 预置隧道电流:1pA~50nA
2.10 偏置电压:-10~+10V
3.软件系统:
3.1 操作系统:Windows 98/2000/XP
3.2 在线控制软件:四窗口图像界面,可观察4个不同数据通道同步成像;系统智能记忆功能 : 一个参数改变,相关参数会根据系统经验自动调节到最佳范围;压电陶瓷非线 性校正,曲面拟合校正,样品倾斜校正等。
3.3 图像处理软件:3D显示,滤波处理,图像修饰,边缘增强、形态学处理、图像格式转换,图像几何变换、调色板设置等。
3.4 数据分析软件:粗糙度分析,颗粒度分析,剖面分析,膜厚分析、台阶分析、各种曲线统计/分析等。
3.5 软件开发模板:便于用户进行二次开发,完成特殊的数据处理功能。
3.6 软件服务包:软件以插件方式终身享受免费升级服务。
4.工作条件:
4.1 环境温度:0-35摄氏度
4.2 相对湿度:0-65%
4.3 工作电压:220V(±10%),50Hz