GM-600E型大平台明暗场硅片检测显微镜

一、用途：

GM-600E大平台明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.

硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.

二、技术参数

1.目镜

类别	放大倍数	视场(mm)
大视野目镜	10X	φ18

2.物镜

类型	放大倍数	数值孔径NA	工作距离（mm）
长工作距离平场消色差物镜	5X(明场)	0.12	18.3
	10X(明暗场)	0.25	8.9
	20X(明暗场)	0.40	8.7
	40X(明暗场)	0.60	3.7
	80X(明场)	0.80	0.96

3.光学放大倍数：50X -- 800X 系统参考放大倍数：50X-5000X
4.滤色片组：黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台：二层机械移动式(配有快速移动装置)
尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm
7.粗微同轴调焦机构，微动手轮格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W卤素灯，亮度可调
9.防霉：特有的防霉系统

10.成像系统:500万高像素的数字摄像头

三、系统组成

大平台硅片检测显微镜(GM-600E): 1.显微镜 2.适配镜 3、500万高像素摄像头

4、计算机(选配)

四、总放大参考倍数

电脑型硅片检测显微镜(GM-600E)：50--4000倍（17寸显示器为例）

五、选购件

1.测量软件 2.目镜： 20X 10X(带刻度)