美国SIERRA810C系列气体质量流量调节仪

测量介质：大多数气体（即：空气、氮气、二氧化碳、氩气、
甲烷、氢气、氦气）；检查与材质的兼容性；订货
时具体指出。
介质温度：0ºC～50ºC 
环境温度：0ºC～50ºC
介质压力：最大150psig（10barg）；
          最佳20psig（1.4barg）。
精度：±1.5%满度在60ºF 到80ºF（15ºC 到25ºC），以及校准压力的±30psig 范围内。
重复性：±0.25%满度。
响应时间：时间常数800 毫秒；6 秒到最终值的±2%以内（满度的25%到100%）。