64-2600单级压力、超高纯度
          
·5Ra或10Ra微英寸抛光
输入 600PSIG
输出 30,60,100,
允许内泄露 <1×10-9
额定流量 0-100
 316L不锈钢
 
·电解抛光或内表面电解抛光
   250PSIG
   SLPM
 或316L不锈
 
·自由阀芯设计
         钢VAR
 
·可供Hastelloy镍合金部件
          
·Cv=.15