型号 Model | VTC-050 | VTC-150 | 法兰内径 Flange size | 吸气口 Inlet | ICF114 | ICF152 | 排气口 Outlet | NW16 | NW16 | 涡轮分子泵排气速度 TMP pumping speed | N2 | L/s | 50 | 190 | H2 | L/s | 40 | 160 | 最后压力 Ultimate pressure | Pa | 10-6台(无热烘 No baking) | 噪音 Noise level | dB(A) | 60 | 粗辗真空泵 Foreline pump | ISP-250B-SV | 输入电压 Voltage | V | 单相 Single phase 100 | 重量 Weight | kg | 49 | 54 | 外形尺寸 Dimensions | mm | W 350×L 490 ×H 591 | W 350×L 490 ×H 638 | 选项 Optional parts | 箱、真空计、自动阀等 Chamber, Vacuum gauge, automatic value |
型号 Model | VTU-050 | VTU-500 | 法兰内径 Flange size | 吸气口 Inlet | ICF114 | ICF203 | 排气口 Outlet | NW16 | NW25 | 涡轮分子泵排气速度 TMP pumping speed | N2 | L/s | 50 | 550 | H2 | L/s | 40 | 500 | 最后压力 Ultimate pressure | Pa | 10-6台(无热烘 No baking) | 噪音 Noise level | dB(A) | 56 | 60 | 粗辗真空泵 Foreline pump | ISP-90 | ISP-500B-SV | 输入电压 Voltage | V | 单相 Single phase 100 | 重量 Weight | kg | 25 | 93 | 外形尺寸 Dimensions | mm | W 350×L 340 ×H 285 | W 430×L 570 ×H 740 | 选项 Optional parts | 箱、真空计、自动阀等 Chamber, Vacuum gauge, automatic value |
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