高真空排气单元 VTC-050

高真空排气单元选择项
涡轮分子泵
可用客户指定的涡轮分子泵组成高真空排气系统。
请询问涡轮分子泵的的安装方向。

其他
箱、真空计、自动阀等可选部分按您的需求安装。

Turbo Molecular Pump
If you have any preference of TMP, it could be chosen. Ask for TMP and installation direction of TMP.

Others
Ask for chamber, vacuum gauge and automatic valve because they are optional.

　
使用用途 (Applications)
加速器(Accelerator) X线分析装置 (X-ray Fluorescence Spectroscopy)
同步加速器放射 (Synchrotron Radiation) 电子显微镜 (SEM/TEM)
泄漏测试 (Leak Test) 各种试验・分析装置 (Various Analyzers)
重量分析装置 (Mass Spectrometer) 辅助高真空排气装置
表面分析装置 (Surface Analyzer) 其他
　
安全注意事项（Precaution on Usage）
这种真空泵是清洁排气规格。请不能排放对人体有毒的气体、爆炸火灾危险性的气体、腐蚀性气体、药品、溶剂、粉状体等物质。对于排放了特殊气体等的泵本公司不承担维护保修责任，请予以谅解。
请在环境温度5℃～40℃范围内使用。
希望将室、真空计、自动阀等一起同时安装。

主要参数 (Specifications)

型号 Model			VTC-050	VTC-150
法兰内径 Flange size	吸气口 Inlet		ICF114	ICF152
	排气口 Outlet		NW16	NW16
涡轮分子泵排气速度 TMP pumping speed	N₂	L/s	50	190
	H₂	L/s	40	160
最后压力 Ultimate pressure		Pa	10^-6台（无热烘 No baking）
噪音 Noise level		dB(A)	60
粗辗真空泵 Foreline pump			ISP-250B-SV
输入电压 Voltage		V	单相 Single phase 100
重量 Weight		kg	49	54
外形尺寸 Dimensions		mm	W 350×L 490 ×H 591	W 350×L 490 ×H 638
选项 Optional parts			箱、真空计、自动阀等 Chamber, Vacuum gauge, automatic value

型号 Model			VTU-050	VTU-500
法兰内径 Flange size	吸气口 Inlet		ICF114	ICF203
	排气口 Outlet		NW16	NW25
涡轮分子泵排气速度 TMP pumping speed	N₂	L/s	50	550
	H₂	L/s	40	500
最后压力 Ultimate pressure		Pa	10^-6台（无热烘 No baking）
噪音 Noise level		dB(A)	56	60
粗辗真空泵 Foreline pump			ISP-90	ISP-500B-SV
输入电压 Voltage		V	单相 Single phase 100
重量 Weight		kg	25	93
外形尺寸 Dimensions		mm	W 350×L 340 ×H 285	W 430×L 570 ×H 740
选项 Optional parts			箱、真空计、自动阀等 Chamber, Vacuum gauge, automatic value