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SQUARE-CONTROL型垂直度检查仪是用于校准直角尺地一种新型高精度垂直测量系统。是直角尺的溯源校准由大理石角尺及真空吸附的测量系统组成。
型号
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500
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700
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测量行程
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520mm
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720mm
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体积(长/宽/高)
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310/190/750mm
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310/190/950mm
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重量
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48kg
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58kg
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气压
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>6bar
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>6bar
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耗气量
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<40升/分钟
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<40升/分钟
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正向垂直度偏差
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1.0µm
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1.2µm
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正向直线度偏差
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0.8µm
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1.0µm
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正侧垂直度偏差
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4.0µm
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5.0µm
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重复性(不包括传感器误差)
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0.1µm
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0.1µm
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