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设计与操作: | |||
MI系列微型干涉仪为纳米级精密测长仪器,采用立体角锥棱镜为反射靶镜,其微型激光传感测头与立体角锥棱镜可组成紧凑的测量系统。利用光纤耦合技术将激光器与干涉系统隔离。角锥棱镜运动产生的光学干涉信号通过光纤传输到光电信号处理与激光电源单元,经数据处理变为位移长度值。采用大范围动态稳频He-Ne激光器与环境参数实时采集动态修正技术,使测量分辨率达1.24nm,干涉仪本身无线性误差。小巧的激光测量传感头与角锥棱镜可以方便地与用户的测量系统相结合,实现各种实验与测量任务。仪器既可以通过专用的键盘与显示器,也可以通过PC实现人机交互与测量。 | |||
用 途: | |||
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主要技术参数: | |||
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主要工作特点: | |||
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