bowman台式膜厚测试仪 BA100

bowman台式膜厚测试仪是一款可靠的采用X-射线荧光方法和独特的微聚焦X-射线光学方法来测量和分析微观结构镀层的测量系统。
可应用于在线膜厚测量,测氧化物,SiNx,感光保护膜和半导体膜.也可以用来测量镀在钢,铝,铜,陶瓷和塑料等上的粗糙膜层. 薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉,干涉的发生与膜厚及折光系数等有关,因此可通过计算得到薄膜的厚度.光干涉法是一种无损,精确且快速的光学薄膜厚度测量技术,薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。
bowman台式膜厚测试仪
技术指标：
★ 元素分析范围：从AL到U
★ 一次性可同时分析多层镀层
★ 分析厚度检测出限最高达0.01um
★ 同时可分析多达5层以上镀层
★ 相互独立的基体效应校正模型，最先进厚度分析方法
★ 多次测量重复性最高可达0.01um
★ 长期工作稳定性小于0.1um（5um左右单镀层样品）
★ 温度适应范围：15℃~30℃
★ 输出电压220±5V/50HZ（建议配置交流净化稳压电源）
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