福禄克流量检验仪 molbox1

福禄克流量检验仪

主要特点

·严格符合证明的气体定律

·先进的压力和温度测量技术

·出众的长期稳定性

·出众的量程范围比

·连续、实时的读数

·支持多种气体

·先进的随机自带功能

·计算机辅助自动校准

·从简单的参考流量计到完整的校

福禄克流量检验仪

概述

福禄克DHI的流量校验仪molbloc/ molbox是专门针对气体微小流量应用的流量校准系统。molbloc/molbox 流量校准系统基于一项拥有专利的新型气体层流测量系统设计，采用了现代化的测量、数学模型，数据处理和制造工艺。molbloc/molbox为气体流量标准的性能和便利性建立了新的标准。molbloc/molbox已经被各个领域广泛接受和认可——半导体、光纤、医药、环境监测、发电、参考气体配方、研究和标准实验室，被作为参考来保证气体流量测量的完整性。

molbloc/molbox覆盖了从小到1 sccm到100 slm以上的流量范围，对各种气体的准确度可达到读数的± 0.2 %。其1秒的刷新率使得根据真正的流量标准对测量和测试仪器进行实时调整第一次成为了可能。molbloc/molbox结构紧凑，易于搬运，可利用全功能前面板本地操作，或者通过其RS232和IEEE-488接口进行远程操作。

molbloc/molbox的配置和附件可支持各种气体流量的测试和测量。molbloc/molbox可被集成到系统中对过程仪器进行在线检查，其便于搬运的特性使其可作为现场审计或检查标准，以及配以附件来建立完整的自动气体流量校准台。molbloc/molbox系统可测试和校准各种各样的流量装置，包括MFC质量流量控制器、转子流量计、气体涡轮流量计，等等。

计算机辅助自动校准

COMPASS for molbox校准辅助软件使molbloc/molbox的自动校准提升到了新台阶。COMPASS for molbox和一台连接了molbloc/molbox的个人计算机可形成一套现代化全功能的流量装置校准和测试的交钥匙系统。

COMPASS可设置被测设备（DUT）的记录、定义并关联DUT的测试方法、运行测试、采集参考和测试数据、生成标准和自定义的校准报告。所有的参考数据、DUT和测试数据都是以标准的符号分隔文件格式采集和储存的，可方便地下载到其它应用程序。

COMPASS的功能远多于简单的数据采集和作为测试顺序工具，它也包括专门的数据减缩功能，可支持随流量设备而定的压力和温度，例如转子流量计、涡轮流量计和体积流量计。

从简单的参考流量计到完整的校准系统

有两种molbox型号和各种附件可供选择，molbloc/molbox所提供的卓越测量能力可适应从简单的参考流量计到交钥匙式自动校准系统的各种应用。 molbox RFM和一个molbloc可配置成简单、成本相对较低的参考流量计，其在 1％～100％满量程范围内的测量不确定度可达到读数的±0.5%；用molbox1、 MFC选项、Molstic安装台和COMPASS 软件可组成一套交钥匙式的全自动质量流量校准系统。

福禄克流量检验仪

型号	说明
molbox1	质量流量终端：流量测量不确定度为±0.2%读数极高性能，基于石英晶振压力传感器 2路molbloc通道，可同时连接2个molbloc，并可利用A_B功能键在2路之间进行切换。还支持A+B和A/B测量功能集成模拟MFC测量和控制选件，用来切换多个通道的开关盒阀门驱动选件（8路可切换，12V输出）
molbox1
molboxlFM	质量流量终端：流量测量不确定度为±0.5%读数微量程选件，在molbloc满量程的10%以下时，可减小测量不确定度微机械硅压阻压力传感器结构紧凑成本低于molboxl
molboxlFM
mobloc	层流元件： Molbloc是用于molbox质量流量终端的层流元件。Molbloc的流经为纵向的环形缝隙，介于molbloc内部的一个活塞和密封圆柱装配孔之间。通过调整同一机身内的活塞的直径，从而改变环形缝的大小即可得到不同量程的molbloc。对于高流量量程（IE4及以上流量范围），采用一个具有更大圆柱孔较大molbloc机身。