功能：硅片切片后清洗及烘干处理

特 性：
●实现1800～3200片/小时超大产能（硅片尺寸：156x156mm & 125x125mm）
●高速机械手移载，按工艺流程完成承载篮平稳输送，定位精准
●三菱PLC控制，10.4”触摸屏操作界面，方便参数设置及多工艺方式的转换
●全面防腐技术，确保设备每个部位的抗酸、抗碱性能
●独特的硅片干燥处理技术，保证硅片不留任何水痕
●实行全自动供排水控制

设备主要构成：

●上料台
●清洗主体
●控制系统 
●移载机械手
●干燥系统（可选） 
●抽风系统

工艺流程：手动上料，自动进料 →1超声波清洗 →2超声波清洗 →3超声波碱液清洗 →4超声波碱液清洗 →5超声波清洗 →6 超声波清洗 →7 超声波清洗 →8慢提预脱水 →9隧道烘干 →自动出料，人工下料