功 能：对硅料表面进行腐蚀、清洗及干燥处理

特 性：
●高速机械手移载，按工艺流程完成承载篮平稳输送，定位精准
●三菱PLC控制，10.4”触摸屏操作界面，方便参数设置及多工艺方式的转换
●全新独创滚筒清洗技术，让硅料在滚动中清洗更彻底，效果更佳
●全面防腐技术，确保设备每个部位的防酸、防碱性能
●专利技术（专利号：2.6&2.1） 
●清洗篮类型 : 滚筒
●清洗规格 : 0.5mm-150mm
●设备产能：30kg/篮，250-360kg/hr

设备主要结构：
●上下料台
●清洗主体
●控制系统 
●移载机械手
●内置真空干燥系统或槽外甩干（可选）
●抽风系统