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CARL ZEISS CONTURA G2 旋转式探头三次元特点
一、机械结构
(a) X、Z 轴皆采用精密陶瓷材质,特性如下:
杨氏系数高,所以刚性强,不易变形,可以保持 X、Z 轴直线度。
低膨胀系数,可以减少热传导产生的结构扭曲,提高量测精度。
重量轻,可降低动态的惯性,增加量测速度,保持三轴直角度。
硬度高,不易扭曲变形,可长久保持 X,Z 直线度,直角度。
(b) 采用 ZEISS 预载式空气轴承,可使龙门与平台间隙永远保持4-6μm,维持高精度量测。
(c) Y 轴采包覆式空气轴承,可降低动态量测惯性,提高三轴直角度。
(d) Z 轴采免调整盒型空气轴承,气源不足时,Z 轴具自动锁定功能。
(e) 气囊式探头重量平衡系统。
(f) 摇控操作盘采双轴同动操控,并具可逆键,操作简便快速。
(g) 采用ZEISS专利光学尺,分辨率 0.2μm
二、无与伦比的精度
(a)精度是在 CMM 三轴最大移动速度下获得 (V=520 mm/s)
(b) MPE_E=2.2+L/300 μm
(c) 精度即使是在远离三轴光学尺最远的平台左下方,亦即理论上空间精度最差的地方,也能满足所标示的数值。