阿尔卡特干泵的设计可将潜在沉积物最小化:
通过减小气体经过的中间腔的容积
通过在泵的每一级进行 N2 吹扫从而稀释工艺气体(P 和H 型)
通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺,从而限制气体在泵内的冷凝(P 和H 型)
多级罗茨的工作原理:
ADP 真空泵由5 级罗茨组成。两个转子旋转时互不接触。
ADP 122,共有2 个型号
ADP 122 P: 和外部的密闭机架一体化,包含:泵,监控系统,手动遥控器,水电气设施接
口,流量计面板,OEM 接口和串口连接等。
ADP 122 LM: 简化后的带监控系统的型号,用于干净的工艺(load-lock 和transfer chamberpumping)。
苏州曼特莱精密电子有限公司热忱欢迎您的到来,欢迎来电垂询阿尔卡特ADP122真空泵维修价格。