筛选
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- 地区
- 全部
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- 会员级别
- 全部
测量性能
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非接触测量,三维立体成像,表面粗糙度,样品关键尺寸,薄膜厚度,摩檫学
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物镜
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具有超长工作距离的物镜:2X,5X,10X,具有防撞保护配件;
具有标准工作距离的物镜:1.5X, 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X;
可选透射物镜工具包;
可选四位置自动塔台
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目镜
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多种目镜可选:0.55X, 0.75X, 1X, 1.5X, 2X
自动马达驱动选择
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测量阵列
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最大阵列640×480,高速,逐行扫描
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光源
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长寿命绿光和白光发光二极管
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可测样品尺寸
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H=350mm (249mm,自动样品台;D=304mm;W=304mm
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样品台承重能力
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样品台承重能力高达50kg(110磅)
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充气载物台承重能力
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充气载物台承重能力高达77kg(170磅)
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光学系统
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集成化电脑控制照明灯;
高精度闭环垂直扫描器;
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电脑操作系统
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垂直分辨率
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〈0.15nm
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RMS 重复性
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0.03nm
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台阶高度
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精确度0.5﹪;
〈0.12﹪1σ
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横向测量范围
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0.1-13.2μm
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光学分辨率
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0.49μm.
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视场范围
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7.68×5.76mmmax,0.06×0.05mmmin.
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占地面积
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172cmHx77cmDx81cmW(67.6in.Hx30.4in.Dx32in.W)
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符合标准
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CE,NRTL,T-Mark,ROHScompliant,ANSIB46.1compliant
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