三维光学显微镜 ContourGT-I

三维光学显微镜ContourGT-I

全球首创的扫描头倾斜自动样品台桌面型测量系统

三维光学显微镜ContourGT-I集三十年表面测量之大成，将创新与工业界合作的
经验集合到一台桌面型系统上，实现面向生产自动化需要，测量角度灵活，优秀的
成像质量，和已经验证的可定标的稳定测试性能。通过布鲁克独有的扫描头倾斜技术，该系统可解决倾斜样品台测试时引起的样品位置变化，从而轻松实现在一定角度内自动倾斜对表面特征进行测量。最新一代的Vision64™ 软件结合改进的样品台设计进一步提高了使用的方便性，更有效地提高用户的测试效率。三维光学显微镜ContourGT-I 可立刻测试各种样品，在桌面型系统上实现了以往从未有过的各种特性。
实现更快，更简便测量

 自动光学倾斜测量头

 全自动X,Y, Z样品台

 自动光镜转塔，放大镜，和测试光选择

更灵活而稳定的防震

 集成式充气式防震台

 高稳定度，空间节省

更强大的测量和分析

 简单明了，人性化的工作流程

 实时自动优化测量

 完整的数据分析软件包

 可定制的分析报告

测量高效

布鲁克独有的倾斜测量头为用户提供了极大的灵活性，实现快速测量和观察。通过在在显微镜头中结合头部倾斜功能，布鲁克这一技术实现了将观察位置始终保持在焦平面处，为用户实际使用时带来了很大便利。

准确追踪和使用的简便性对于在不同表面上快速检测是至关重要的，这样在批量测试时速度也大大提高。

这一特点结合样品台与物镜的电动控制使得三维光学显微镜Contour GT-I 成为了具有较小占地却能同时满足多种测试要求的测量平台。

业界最方便灵活的测量方式

除上述优点外，三维光学显微镜ContourGT-I通过独有的设计直接在机台上集成防震系统，使其直接满足各种环境条件，包括工厂，实现迅速准确地测量。

这一经过严格测试的防震系统为用户提供不折不扣的优化测试条件，从而得到重复性极佳的定量数据。

三维光学显微镜ContourGT-I为用户在科研或生产环境下提供各类测试要求，保证优异，可计量的可靠测试结果。

技术参数

最大扫描量程	可达10mm
垂直分辨率	<0.01nm
RMS 重复性 (PSI)	0.01nm
台阶高度准确性	0.75%
台阶高度重复性	<0.1% 1 sigma repeatability**
最大扫描速度标准相机	73 μm/sec
样品反射率	0.05%-100%
最大坡度–光滑面	可达40°
最大坡度–粗糙面	Upto87°
XY样品台	150mm(6in.) 自动
Z调焦范围和样品高度	100mm(4in.)automated,(6in.)
头部倾斜	±5°自动
光学测量模块	双LED（专利）照明,单筒物镜或转塔，单个放大镜或自动转动放大镜
物镜	同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x 长工作距离:1x,1.5x,2x,10x TTM:2x,5x,10x,20x 明场:5x,10x,20x,50x
放大镜	0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x
相机	标配:640x480 高清(可选):1280x960 彩色(可选):640x480
软件系统	基于Windows 7 64位操作系统的 Vision64 分析软件
可选软件包	生产模式; Annular 分析; 分辨率提升模式高速自动对焦; 光学分析包; 高级成像模式; 厚膜测试模式; MatLab; PSS（图案化蓝宝石衬底）测试模式
校准	可溯源的台阶高度标准样
占地	450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H)
最大可测样品重量	十公斤
系统总重	六十公斤
保修期	18 个月

* 在8um及以上的台阶高度标样上测得.

** VSI模式下对10μm台阶测试重复性指标. 平均标准偏差<10nm.

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