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显示器、触摸屏、太阳能电池、R2R 光学镀膜等产业的薄膜厚度测量
光学材料参数测量、彩色滤光片色度及穿透率测量。(如:Oxide, Nitride,
ITO, RGB CF, PR, PI…@ Si, Glass, PET…等样品)
技术参数:
1.厚度测量范围:10 nm ~ 30 μm (采用Ocean Optics 光谱仪)
(Optional: up to 250 μm)
2.厚度测量重复性:< 1 nm @ 500 nm Oxide on Si
3.测量点大小 : Macro(~3 mm)
(Optional 选项加显微镜 : 10 μm – 3 mm)
4.测量时间:< 1 sec
5.其它功能:折射率(n)及消光系数(k)测量
反射率(R)及穿透率(T)测量
色度参数(x, y, Y, L*, a*, b*)测量
(Optional:在线检测、实时8-16 通道测量)
6. 机台尺寸:长宽高约31*27*30 (cm)。