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便携式电阻率测试仪(成套)产品简介 |
1、符合半导体材料电阻率的国际及国家标准测试方法。
2、测量厚度大于4倍探针间距的硅晶体,也可测量薄硅片电阻率及方阻。
3、电阻率测量范围复盖最常用的区段:0.01—199.9Ω·cm。(可添加电阻率小于0.5Ω·cm的报警功能)
方块电阻测量范围复盖最常用的区段:0.1—1999Ω/□。(可添加方块电阻小于5Ω/□的报警功能)
4、配置高精度恒流源,测量电流稳定,分两档:1mA、10mA,每档均可在大范围内调节(1mA:0.1—1mA;10mA:1mA—10mA)。
5、测量精度高:电器测量精度优于0.3%;
整机测量误差:测量1-100Ω·cm的标准硅片误差≤±3%。
测量大于100Ω·cm和小于1Ω·cm的标准硅片误差≤±5%。
6、重量轻,约2.5kg;体积小:240×210×100(mm)。
7、可配用多种探针间距的四探针头:1.00mm、1.59mm。
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