EMS 150膜厚监控仪

石英是离子型的晶体，当发生拉伸或压缩时能产生电极化现象，称为压电，这是因为其结晶点阵的有规则分布所致。石英晶体压电效应的固有频率不仅取决于其几何尺寸，切割类型，而且还取决于芯片的厚度。当芯片上镀了某种膜层后，芯片的厚度增大，则芯片的固有频率会相应的衰减。膜厚监控仪就是通过测量频率或与频率有关的参量的变化而监控淀积薄膜的厚度。

膜厚监控仪(FTM)是如何工作的呢？镀膜时，膜厚监控仪里面的晶振片的高速振动，测试每秒钟振动次数的改变，从所接受的数据中计算膜层的厚度。

仪器参数：

仪器尺寸	300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H)
重量	6Kg
可配套仪器	EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, EMS 675, EMS 950, and the EMS 975
晶片座	置晶片装置
密度范围	1.55 to 23.0g/cm^-3
测控范围	5 to 999nm
镀碳时精度	0.8nm
镀金时精度	0.1nm
电源	230V 50 Hz (3 Amp Max)

订购信息：

货号	产品名称	规格
91006	EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone.	台
91006-M	EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module	台
91008	Spare Crystals	盒
91009	Spare Glass Cylinder	个