EMS 550 EMS 500全自动离子溅射镀膜仪

EMS 550具有旋转样品台，可倾斜，适合各种样品。参数可预设，全自动控制保证获得精确的镀层厚度。低电压溅射、冷溅射、精细颗粒等功能的使用，大大提高了工作效率。腔室直径为165 mm（6英寸），非常方便装载及移走样品。仪器装有60mm直径、0.1mm厚的金靶（可选）。可选靶材包括金/钯，铂/钯和铂。各种功能都集中设计在仪表板上，使用方便，满足不同学科的用户使用要求。溅射参数可预设，包括气体放气针阀（此阀为电磁阀），一旦设置，就不需要再调节。溅射头互锁，系统可选配EMS250镀碳附件。

EMS 550本仪器为全自动操作，可控制独立的真空泵。EMS500是EMS550的手动版本，其样品台不带自动旋转功能，其它参数与EMS550完全相同。下图为EMS550的外观图片：

性能特征：

旋转且可倾斜样品台
高质量镀层厚度（2nm 金膜）
精确的可重复性能
均匀沉积厚度
复合样本固定器
全自动控制
低耗冷却系统，无需冷却样本及样品台
低压溅射
20nm（或20埃）
微电子控制
聚碳酸酯安全壳体

仪器参数：

仪器尺寸	450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H)
工作腔室	硼硅酸盐玻璃: 165mm(Dia.) x 125mm(H)
安全罩	聚碳酸酯
重量	18Kg
靶材	60 mm 直径 x 0.1mm 厚(金靶为标准靶材)
样品台	60mm(Dia.) ，靶面距在25mm－45mm之间可调
真空泵工作范围	ATM-1x10^-2 mbar
溅射电流	0-50mA
溅射镀膜时间	0-4 minutes
沉积速率	0-25nm/分
电源配置	230 volts 50Hz (6 amp Max incl pump)

产品信息：

货号	产品名称	规格
91000	EMS 550 Sputter Coater complete with Target	台
91000-MA	EMS 500 Manual Sputter Coater	台
91005	Rotary Vacuum Pump Targets 60mm (Dia.) x 0.1mm (Thick) fitted inclusive as standard	个