图象的分辨率是扫描电镜的最重要技术指标，它反映仪器的综合性能。只有综合性能良好的仪器才能获得具有最小球差、色差、畸变及象散的高分辨图象。扫描电镜的分辨率一般由可以检测到的最小间距和图象的灰度共同决定。

金颗粒球（2nm-30nm）分散在碳基底上，从而测定出粒子间可测的最小间距。高分辨率检测标样可用于像散校正和分辨率检测，一般放大率在50000×时检测推荐使用此检测标样。