技术参数
X1轴
测量范围:50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000)
分辨率:0.2µm
检测方法:反射型线性编码器
驱动速度:0.2,1mm/s和手动
测量速度:0.2,0.5mm/s
移动方向:向后
直线度:3.5µm/50mm(CV-1000),
3.5µm/100mm(CV-2000),
*当X轴在水平方向上
指示精度:±(3.5+2L/100) µm
*L为驱动长度(mm)
倾斜范围:±45°(CV-2000)
Z2轴(立柱,仅用于CV-2000)
立柱类型:电动(S4型)和手动(M4型)
垂直行程:250mm(S4型),320mm(M4型)
分辨率:0.2µm(S4型)
检测方法:ABSOLUTE线性编码器(S4型)
驱动速度:0-5mm/s和手动
Z1轴(检测器)
测量范围:25mm(CV-1000)或50mm(CV-2000)
分辨率:0.4µm(CV-1000)或0.5µm(CV-2000)
检测方法:弧形编码器
指示精度:±(3.5+I4HI/25) µm
(20℃时)*H为水平位置上的测量高度(mm)
测针上/下运作:弧形运动
测针方向:向下
测力:10-30Mn
跟踪角度:向上:77°、向下:87°
(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针)
测针针尖:半径:25µm、硬质合金针尖
基座尺寸(W×H):750×600mm(CV-2000)
基座材料:花岗岩(CV-2000)
重量:5kg(CV-1000N2),115.8kg(CV-2000M4),124kg(CV-2000S4)
电源:100-240VAC±10%,50/60Hz