Temescal真空镀膜机 FC
筛选
  • 地区
    全部
  • 会员级别
    全部
筛选
  • 截止时间
    全部
仪表展览网>产品库>Temescal真空电子束蒸镀系统
价格: 面议
产品型号:FC/BJD-2000 FC/BCD-2800 FC-3800 FC-4400
公司名称:创世杰科技(香港)有限公司
地:广东深圳
发布时间:2022-04-14
创世杰科技(香港)有限公司
产品简介
Temescal真空镀膜机是Temescal公司明星产品,Temescal成立于1952年,是真空电子束蒸镀技术的领导者,提供*先进的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在准确控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术,典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡,可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。
产品详情

Temescal真空镀膜机产品概述
Temescal成立于1952年,是真空电子束蒸镀技术的领导者,提供*先进的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在准确控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术,典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡,可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。
Temescal
总部在美国加州,拥有独立完善的设计、制造、销售和研发部门,其关键技术优势着重体现于成套沉积系统和电子枪组件。在高亮度LEDGaAs基无线通信芯片、光通讯器件、太阳能光伏、微机械(MEMS)和声表器件(SAW)等领域拥有很高的声誉和众多杰出用户。
Temescal
上乘的工艺实现能力包括:高均匀性多层膜系工艺设计,*先进的大功率电子枪及控制电源,无死角操作的双开门设计,洁净无油真空系统,多种精密工件架,全自动薄膜工艺控制系统,等等。
Temescal真空镀膜机产品特点
1. 业内独有的真空锁式批量蒸镀系统
2.
整个电子束蒸发源可与腔室分离并转到设备框架之外
3.
高性能电子枪和控制器
4.
所有OEM组件均来自世界一流供应商
5.
丰富的剥离(Lift-off)工艺经验
6.
高均匀性和高材料利用率
7.
可靠灵活的全自动控制系统
8.
设备性能完全满足24/7的严格的FAB生产要求
9.
专业的工艺研发和技术支持
Temescal真空镀膜机技术参数
主要型号
1. FC4400
Temescal
*大型标准系统,真空锁结构设计,适合150mm以上基片工艺的产能*大化要求
2. FC3800
Temescal
大型标准系统,真空锁结构设计,适合各种高产能应用要求
3. FC/BCD2800
Temescal
中型生产设备,真空锁结构可选,适合100mm~150mm晶圆工艺生产
4. FC/BJD2000
Temescal
小型标准系统,尤其适合小规模生产和研发
设备产能
设备型号: FC/BJD-2000 FC/BCD-2800 FC-3800 FC-4400
2inch
晶圆: 42 N/A N/A N/A
3inch
晶圆: 17 47 N/A N/A
100mm
晶圆: 13 25 53 55
150mm
晶圆: 5 12 25 30
200mm
晶圆: N/A 6 14 15
深圳办地址:深圳市宝安区翻身路48区理想居A21E
电话: 86-755-61536512,
传真: 86-755-61536610
 
 网址: http://www.micropowergroup.com
 邮件:bowenzhang@micropowergroup.com
 
商铺其他产品
联系商家 立即询价
发布询价单