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Temescal真空镀膜机产品概述
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Temescal成立于1952年,是真空电子束蒸镀技术的领导者,提供*先进的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在准确控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术,典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡,可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。
Temescal总部在美国加州,拥有独立完善的设计、制造、销售和研发部门,其关键技术优势着重体现于成套沉积系统和电子枪组件。在高亮度LED、GaAs基无线通信芯片、光通讯器件、太阳能光伏、微机械(MEMS)和声表器件(SAW)等领域拥有很高的声誉和众多杰出用户。 Temescal上乘的工艺实现能力包括:高均匀性多层膜系工艺设计,*先进的大功率电子枪及控制电源,无死角操作的双开门设计,洁净无油真空系统,多种精密工件架,全自动薄膜工艺控制系统,等等。 |
Temescal真空镀膜机产品特点
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1. 业内独有的真空锁式批量蒸镀系统
2. 整个电子束蒸发源可与腔室分离并转到设备框架之外 3. 高性能电子枪和控制器 4. 所有OEM组件均来自世界一流供应商 5. 丰富的剥离(Lift-off)工艺经验 6. 高均匀性和高材料利用率 7. 可靠灵活的全自动控制系统 8. 设备性能完全满足24/7的严格的FAB生产要求 9. 专业的工艺研发和技术支持 |
Temescal真空镀膜机技术参数
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主要型号
1. FC4400 Temescal*大型标准系统,真空锁结构设计,适合150mm以上基片工艺的产能*大化要求 2. FC3800 Temescal大型标准系统,真空锁结构设计,适合各种高产能应用要求 3. FC/BCD2800 Temescal中型生产设备,真空锁结构可选,适合100mm~150mm晶圆工艺生产 4. FC/BJD2000 Temescal小型标准系统,尤其适合小规模生产和研发
设备产能
设备型号: FC/BJD-2000 FC/BCD-2800 FC-3800 FC-4400
2inch 晶圆: 42 N/A N/A N/A 3inch 晶圆: 17 47 N/A N/A 100mm 晶圆: 13 25 53 55 150mm 晶圆: 5 12 25 30 200mm 晶圆: N/A 6 14 15 |