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产品型号：VENA-1000
公司名称：中山格美电子有限公司
所在地：广东中山
发布时间：2012-06-19
中山格美电子有限公司
产品简介
VENA系列自动匹配器用于0-5000W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。
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联系人：王先生
联系电话：0760-88320910
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优势
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特点
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1、性能安全可靠，长时间工作稳定
2、实时反射功率测量与控制 3、优化的设计，安装、使用与维修均十分简便 4、匹配范围广，适用于复杂多变的负载系统 5、传输效率高 6、运行噪声小 7、屏蔽效果好 8、严格的可靠性测试 |
1、加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
2、优化的匹配算法加速匹配时间 3、最大限度地减少驻波比与反射功率 |
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主要功能特性
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频率
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13.560MHz
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最大传输功率
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1000w
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反射功率（最大功率时）
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<3w
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最大负荷电流
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30ARMS
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最大负荷电压
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7000VRMS
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传输效率
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>90%
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负载阻抗
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50Ω
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RF输入连接器
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50 Ω, UHF（或N-type）, female
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最大等离子直流偏置电压
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0 to 2.000 VDC
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直流偏置电压检测值
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0~5VDC
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匹配时间
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3~5s
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主电容
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真空电容
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可匹配阻抗实部范围
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0~80Ω
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- 询价产品：射频自动匹配器 VENA-1000
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