光学系统：

无限远光学系统,正像型

放大倍率：

50×,100×,200×,500×

广角目镜：

WF10×/22mm,带坐标线

无限远物镜：

5×,10×,20×,50×(标配)

物镜转换器：

六孔滚珠内定位,DIC插片座

双目镜筒：

倾角30º,瞳距55-75mm屈光度±5D

三目输出：

全视野同步影像输出,标准C接口镜头

测量工作台：

200*200mm,测量范围X-Y：50*50mm

旋转工作台：

Φ120mm,360º旋转,游标5´,玻璃平台Φ75mm

读数系统：

精密光栅尺,数显表,分辨率0.5µm,RS232输出

测量精度：

仪器示值误差±(1+L/25)µm,L－测量长度mm
包括测量误差和系统误差/环境温度20ºC±3ºC

调焦系统：

同轴粗微动,滚珠导轨,升降135mm,微调2µm
测试件高度≤127mm

反射照明：

同轴落射照明,可调光LED

透射照明：

非球面聚光镜,可调光LED

输入功率：

AC90-240V/50-60Hz/20W

仪器质量：

体积300*430*390mm³,重量35kg