筛选
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项目
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技术指标
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仪器型号
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EM12
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激光波长
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632.8nm (He-Ne Laser)
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膜厚测量重复性(1)
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0.2nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
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折射率测量重复性(1)
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2x10-3 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
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单次测量时间
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与测量设置相关,典型1.6s
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最大的膜层范围
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透明薄膜可达4000nm
吸收薄膜则与材料性质相关
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光学结构
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PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度)
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激光光束直径
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1-2mm
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入射角度
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40°-90°可手动调节,步进5°
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样品方位调整
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Z轴高度调节:±6.5mm
二维俯仰调节:±4°
样品对准:光学自准直和显微对准系统
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样品台尺寸
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平面样品直径可达Φ170mm
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最大外形尺寸
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887 x 332 x 552mm (入射角为90º时)
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仪器重量(净重)
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25Kg
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选配件
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水平XY轴调节平移台
真空吸附泵
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软件
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ETEM软件:
l 中英文界面可选;
l 多个预设项目供快捷操作使用;
l 单角度测量/多角度测量操作和数据拟合;
l 方便的数据显示、编辑和输出
l 丰富的模型和材料数据库支持
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