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半导体高纯气露点仪
半导体高纯气露点仪采用对水分敏感的石英晶体微平衡传感器,简称石英振荡传感器,具有抗污染,无漂移等优点,测试范围可低至-120度露点仪,也就是ppb微量水分析仪,半导体高纯气露点仪在半导体高纯气体,新材料特种气体及研发机构中应用广泛,是为数不多的石英振荡技术实力派之一。石英晶体振荡露点仪
三、半导体高纯气露点仪产品技术参数
性能 | |
测量技术 | 快速响应的石英晶振技术 |
范围 | 校验范围 0.1 到 2000ppmv |
精度 |
0.01 ppmV ( 0.001 ~ 1 ppmV) 读数的 ±10%(1 ~ 2000 ppmV) |
重复性 |
±0.01 ppmV ( 0.1 ~ 1 ppmV) 读数的±5% ( 1 ~ 2000 ppmV) |
测量单位 | ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf |
响应速度 |
T63 <2 分钟 T95 <5 分钟 |
灵敏度 | 0.001 ppmV 或读数的1%,取较大值 |
自我校验 |
内置湿度发生器作为标准源 校验可溯源到 NPL & NIST |
灵敏度 | 0.001ppmv 或 1% 读数,取zui大 |
显示 | |
半导体高纯气露点仪 |
可选 |
模拟输出 | 2 路可选4–20 mA 或1 到 5 V |
数字输出 | 基于USB 和 ModBus TCP上的Ethernet传输 |
数据记录 | 直接记录到 SD 卡或通过 PC 应用软件传输 |
报警 |
1 x 系统警报,干接点(FORM C) |
电源 | 24V |
工作条件 | |
进气压力 | 1 barg |
出气压力 | 大气压 |
样气流量 | 300ml/分钟 总流量 @ 大气压 |
样气温度 | 0 ~ +100°C |
工作环境 | 室内:+5 ~ +46°C,zui高达到90% RH |
机械性能 | |
外壳 | 不锈钢 |
气体接口 | G1/2英寸 |
重量 | 0.2Kg |
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