非磁性观察窗（Viewports)技术参数：

漏率: <2x10(-10) atm cc/sec He

平行度:
UV 等级: <30 Arc Minutes
DUV 等级: <10 Arc Seconds

法兰材料: 316 LN Stn. Stl.

平面度: DUV: l/4 @ 632nm Transmitted Wavefront

表面抛光度:
UV等级: 40/20
DUV等级: 20/10

热量范围: -100˚C to 200˚C

材料: Corning HPFS 7980 Fused Silica

传感:
UV等级: >90% @ 250nm (external)
DUV等级: ≥99.8% @ 248nm (internal)

参数/应用：激光级熔融石英窗体，钛套管，316LN不锈钢法兰，烘烤温度可达200℃，高真空传输范围达248nm，超高真空适用

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