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非磁性观察窗(Viewports)技术参数:
漏率: <2x10(-10) atm cc/sec He
平行度:
UV 等级: <30 Arc Minutes
DUV 等级: <10 Arc Seconds
法兰材料: 316 LN Stn. Stl.
平面度: DUV: l/4 @ 632nm Transmitted Wavefront
表面抛光度:
UV等级: 40/20
DUV等级: 20/10
热量范围: -100˚C to 200˚C
材料: Corning HPFS 7980 Fused Silica
传感:
UV等级: >90% @ 250nm (external)
DUV等级: ≥99.8% @ 248nm (internal)
参数/应用:激光级熔融石英窗体,钛套管,316LN不锈钢法兰,烘烤温度可达200℃,高真空传输范围达248nm,超高真空适用
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