公司名称:上海苏海电气有限公司 所在地:上海闸北 发布时间:2024-06-28 联系人:曹诚 联系电话:021-66276586 上海苏海电气有限公司 产品简介 石英管式微波等离子体发生装置1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足额功率,连续可调;2、本底真空不劣于10Pa;工作气体分3路控制流(入)量; 产品详情 石英管式微波等离子体发生装置 (一)性能概况 1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足额功率,连续可调; 2、本底真空不劣于10Pa;工作气体分3路控制流(入)量; 3、Φ50mm或Φ90mm石英管反应室,置于微波系统和真空系统的偶合点上; 4、制冷循环水冷却。 (二)典型实验 1、化学气相沉积制备金刚石薄膜、碳纳米材料等; 2、集成电路等的刻蚀; 3、可催化引发常规化学很难实现的反应; 4、高分子、金属、生物材料表面改性。 (三)产品特色 1、微波准零泄漏,确保人身安全; 2、微波足额功率,等离子体活力强劲; 3、样品升降架精巧豪,可加热可冷却; 4、制冷循环水避免长流水费水扰民; 5、循环水机可联机可独立使用; 6、缺水保护报警功能完善可靠; 7、排气口有环保型油雾过滤器; 8、电控系统功能完善灵便醒目; 9、整机造型典雅大气。 商铺其他产品 JXZ系列接线柱 接线柱(接线端子) 鳄鱼夹(专用夹) EYJ 插片(叉子) CP DLQ系列电力测试钳 DCC专用测试导线包 联系商家 立即询价 发布询价单 询价产品:石英管式微波等离子体发生装置 FM-CVD8(升级型)、FM-CVD6(基本型) 询价数量: /个 联系人: 联系电话:
石英管式微波等离子体发生装置 (一)性能概况 1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足额功率,连续可调; 2、本底真空不劣于10Pa;工作气体分3路控制流(入)量; 3、Φ50mm或Φ90mm石英管反应室,置于微波系统和真空系统的偶合点上; 4、制冷循环水冷却。 (二)典型实验 1、化学气相沉积制备金刚石薄膜、碳纳米材料等; 2、集成电路等的刻蚀; 3、可催化引发常规化学很难实现的反应; 4、高分子、金属、生物材料表面改性。 (三)产品特色 1、微波准零泄漏,确保人身安全; 2、微波足额功率,等离子体活力强劲; 3、样品升降架精巧豪,可加热可冷却; 4、制冷循环水避免长流水费水扰民; 5、循环水机可联机可独立使用; 6、缺水保护报警功能完善可靠; 7、排气口有环保型油雾过滤器; 8、电控系统功能完善灵便醒目; 9、整机造型典雅大气。