法国Annealsys 050

法国Annealsys SprayCVD设备型号050
用于新工艺研发的2 ″实验室CVD设备、采用相同反应器的喷雾CVD
应用：用于太阳能电池的氧化，镀制半导体，电光镀膜，绝缘层镀膜，超导体，固体氧化燃料电池膜层

设备应用：
用于镀制——

• Solar Cells: SnO2, ZnO, TiO2, In2O3,…

•太阳能电池： SnO2, ZnO, TiO2, In2O3,…

• Electro-optic coatings: NiO, Co3O4,…

•电光镀膜： NiO, Co3O4,…

• Ferroelectric memories: SrTiO3,…

•铁电物质记忆： SrTiO3,…

• Insulating barrier layers: MgO,…

•绝缘层膜层： MgO,…

• Catalytically active coatings: Co3O4 , NiCo2O4,…

•催化活性镀膜: Co3O4 , NiCo2O4,…

• Semiconductors: Nb2O5,…

•半导体： Nb2O5,…

• Superconductors: YBCO,…

•超导体： YBCO,…

• Electrochromic coatings: WO3,….

•电镀镀膜： WO3,….

• Solid oxide fuel cell (SOFC): ZrO2, YSZ, GCO,…

•固体氧化燃料电池(SOFC): ZrO2, YSZ, GCO,…

主要特性

• Horizontal quartz tube with stainless steel flanges

•配有不锈钢法兰的水平石英管

• Lamp furnace for process up to 1200℃

•用于工艺的灯炉，最高至1200℃

• Thermocouple control with PID temperature controller

•热电偶控制PID温度控制器

• Kemstream Atokit for atomization of precursor

• Kemstream Atokit 用于源的雾化

• PC control with Ethernet communication

•配有以太网通讯的PC控制

PC设备完全控制软件
Access modes:
进入模式：

• Operator, Engineer, Administrator

•操作员，工程师，管理员

Recipe mode:
程序模式：

• Up to 100 steps per recipe

•每个程序最多100个步骤

• TC and pyrometer calibration associated to recipe

•TC和高温计校准与程序相关联

• PID table associated to recipe

•PID表格与程序关联

Process:
工艺：

• Full data logging

•全部数据记录

• All data and table saved in process historical

•所有数据和表格储存在工艺历史记录中

Manual mode:
手动模式：

• Manual control of heating, vacuum and gas

•手动控制加热，真空和气体

• Autotuning procedure

•自动调谐程序

Configuration mode:
配置模式：

• Mass flow ranges, calibration tables, alarm values…

•质量流量范围，校准表格，报警值…