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紧凑型等离子清洗机主要特点:
1.使用各种气体清洗和去除晶片上的纳米级有机污染物,至多可容纳2"。
2.涂层前预清洗单晶基板的优良工具,可获得更好的薄膜质量。
3.铰链式门,便于样品装载。
4.3"直径石英腔室,适用于清洁2”晶圆,可选配石英舟。
5.石英室内的可移动石英管易于清洁和更换。
紧凑型等离子清洗机技术参数:
主要部件
指标名称
参数指标
清洗仓体
清洗仓材质
高纯石英
清洗仓尺寸
直径120mm;长度280mm
射频电源
电源特性
该电源为全固态射频电源,采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块,有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件,使产品的可靠性得以保证。
电源优势
● 可长时间正常运行
● 电源效率高、发热少
射频功率
0~100W连续可调/0~150W连续可调
信号频率
13.56MHz ±0.005%
反射功率
≤200W
功率稳定度
±0.1%
射频接头
N型头
整机效率
≥75%
谐波分量
≤-50 dBc
冷却方式
强制风冷
气体测量
测量部件
浮子流量计
气体通道
两通道
A通道量程
10~100ml
B通道量程
16~160ml
真空获取
真空测量
数字真空计(电阻规)
真空抽取
双极旋片泵
电机转速
50Hz时为:1440;60Hz时为:1720。
抽气速率
50Hz时为:1.1L/s;60Hz时为:1.3L/s。
真空量程
1Pa~100000Pa
极限真空1
Pa
电机噪音
≤56dB
管道接口
进气口:KF16;排气口KF16.
连接管道
KF16真空波纹管
真空阀门
电磁阀
电机功率
400W
其它
供电电源
AC220V 50/60Hz
整机功率
1000W/1500W
使用温度
-10℃--40℃
工作真空
≤40Pa
整机尺寸
540mm×650mm×600mm
整机重量
78kg
● 操作简单灵活
● 具有完善的反射功率保护功能
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- 询价产品:紧凑型等离子清洗机 CY-PC13.56M-2L-150Q
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