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真空等离子清洗机产品原理:
等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
1、控制单元:
控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。
而控制单元又分为两个大的部分:1)电源部分:主要电源频率有三种,分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要电源匹配器的,而2.45GHz又称为微波等离子。2)系统控制单元:分三种,按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。
2、真空腔体:
真空腔体主要是分为两种材质的:1)不锈钢真空腔体,2)石英腔体。
3、真空泵:
真空泵种类较多,其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。
![](http://zt.yzimgs.com/ComFolder/612040/image/201901/201901151713311381.png)
真空等离子清洗机技术规格:
主要部件
指标名称
参数指标
清洗仓体
清洗仓材质
高纯石英
清洗仓尺寸
直径100mm;长度270mm
射频电源
电源特性
该电源为全固态射频电源,采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块,有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件,使产品的可靠性得以保证。
电源优势
●可长时间正常运行
● 电源效率高、发热少
射频功率
0~100W连续可调/0~150W连续可调
信号频率
13.56MHz ±0.005%
反射功率
≤100W
功率稳定度
±0.1%
射频接头
N型头
整机效率
≥75%
谐波分量
≤-50 dBc
冷却方式
强制风冷
气体测量
测量部件
浮子流量计
气体通道
两通道
A通道量程
10~100ml
B通道量程
16~160ml
真空获取
真空测量
数字真空计(电阻规)
真空抽取
双极旋片泵
电机转速
50Hz时为:1440;60Hz时为:1720。
抽气速率
50Hz时为:240L/Min;60Hz时为:288L/Min。
真空量程
0.1Pa~10000Pa
极限真空
0.5Pa
电机噪音
≤56dB
管道接口
进气口:KF16;排气口KF16.
连接管道
KF16真空波纹管
真空阀门
KF16球阀
电机功率
400W
其它
供电电源
AC220V 50/60Hz
整机功率
550W/600W
使用温度
-10℃ -- 40℃
工作真空
≤40Pa
整机尺寸
540mmX500mmX440mm
整机重量
58kg(含包装)
● 操作简单灵活
● 具有完善的反射功率保护功能
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- 询价产品:真空等离子清洗机 CY-PC13.56M-2L-150Q
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