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1500℃单温区3路质量流量计低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。炉管采用高纯氧化铝制成,炉体采用一体式设计,独特的设计能够保证系统在1500℃运行稳定安全,加热元件采用高品质硅碳棒,能够达到1500℃高温,若客户有需求可以定制硅钼棒加热元件以达到更高的1700℃高温。系统所配有的三路质量流量计,精度高可靠性强,可以准确混合1~3路气体,操作面板采用数字显示,直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
技术参数:
真
空
管
式
炉
产品型号
CY-CVD1500-60-300-3TH-Q
炉管材质
高纯氧化铝
炉管直径
60mm(可选配50mm、80mm、100mm)
炉管长度
1000mm
炉膛长度
400mm
加热区长
300mm
恒温区长
150mm
工作温度
≤1450℃
控温精度
±1℃
控温模式
30段或50段程序控温
显示模式
LCD
密封方式
304不锈钢真空法兰
法兰接口
1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
可抽真空
4.4E-3Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
供
气
系
统
产品型号
CY-3Z
气体通道
3通道
测量部件
气体质量流量计
测量量程
A通道:0~100SCCM H2气
备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
B通道:0~300SCCM N2气
C通道:0~500SCCM Ar气
测量精度
±1.0%F.S
管道耐压
3MPa
工作压差
50~300KPa
连接管道
304不锈钢
控制阀门
304不锈钢针阀
接口规格
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
供电电源
AC:220V 50/60Hz
排
气
系
统
机械泵
旋片泵
抽气速率
1.1L/S
排气接口
KF16
真空测量
电阻规
极限真空
1.0E-1Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
抽气接口
KF16
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