RTP快速退火炉 CY-O1000-120I-T-RTP

RTP快速退火炉是我公司自主研发的功能强大的加热设备。RTP快速退火炉采用进口红外加热管加热，造型新颖结构合理，炉体和炉管可以自由滑动，可实现快速升降温。炉管内尺寸120mm，可以直接放下4英寸的材料，试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成生产工艺的同时也大大降低了间接污染试样的可能性。设备配备LCD高清触摸屏，设定数据实验操作均为图文界面，操作方便快捷易上手，能够大大提高您的实验效率。设备预留了真空和气路的快速接口，可以选购我们的真空系统和混气系统一起使用。

RTP快速退火炉应用领域：

快速退火炉设备，可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积等。

RTP快速退火炉技术参数：

产品型号	CY-RTP1000-Φ150-400-T
炉管材质	高纯石英
炉管直径	120mm
炉管长度	500mm
炉膛长度	440mm
加热区长	400mm
恒温区长	200mm
工作温度	0～1000℃
升温速度	推荐80℃/s，快升温速度100℃/s
降温速度	200℃以上≤25min
控温精度	±1℃
控温模式	8段
显示模式	LCD触摸屏
密封方式	304不锈钢真空法兰
法兰接口	1/4英寸卡套接头(Ø8宝塔嘴接头)
可抽真空	4.4E-3Pa 分子泵
供电电源	AC:220V 50/60Hz

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