筛选
-
- 地区
- 全部
-
- 会员级别
- 全部
价格：
面议
产品型号：CY-MSH325- I-DC-SS
公司名称：郑州成越科学仪器有限公司
所在地：河南郑州
发布时间：2019-04-18
郑州成越科学仪器有限公司
产品简介
单靶磁控溅射镀膜仪(直流)我公司研发的实验室专用镀膜仪，典型的高速低温溅射。单靶磁控溅射镀膜仪(直流)可选配功率从500W-1000W的直流电源。
产品详情
商铺其他产品
联系商家
立即询价
发布询价单
联系人：汪纪彬
CY-MSH325- I-DC-SS单靶磁控溅射镀膜仪(直流)为我公司研发的实验室专用镀膜仪，设备可选配直流电源，和射频电源，功率从500W-1000W不等，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。
磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。
设备经过紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能齐全。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，是一款实验室制备薄膜的理想设备。
技术参数：
|
项目 |
明细 |
|
|
产品型号 |
CY-MSH325- I-DC-SS |
|
|
供电电压 |
AC220V，50Hz |
|
|
整机功率 |
4KW |
|
|
系统真空 |
≦5×10-4Pa |
|
|
样品台 |
外形尺寸 |
φ150mm |
|
加热温度 |
≦500℃ |
|
|
控温精度 |
±1℃ |
|
|
可调转速 |
≦20rpm |
|
|
磁控靶枪 |
靶材尺寸 |
直径Φ50.8mm，厚度≦3mm |
|
冷却模式 |
循环水冷 |
|
|
水流大小 |
不小于10L/Min |
|
|
真空腔体 |
腔体尺寸 |
直径φ325mm，高度500mm |
|
腔体材质 |
SUU304不锈钢 |
|
|
观察窗口 |
直径φ100mm |
|
|
开启方式 |
顶开式 |
|
|
气体控制 |
1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM |
|
|
真空系统 |
配分子泵系统1套，气体抽速600L/S |
|
|
膜厚测量 |
可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 Å |
|
|
溅射电源 |
直流电源500W |
|
|
控制系统 |
CYKY自研专业级控制系统 |
|
|
设备尺寸 |
600mm × 650mm × 1280mm |
|
|
设备重量 |
350kg |
|
- 询价产品：单靶磁控溅射镀膜仪(直流) CY-MSH325- I-DC-SS
- 询价数量： /个
- 联系人：
- 联系电话：