无尘室工程

无尘室工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术的创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目，设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。

一、无尘室工程一般包括：

1.洁净生产区；

2.净辅助间（包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等）；

3.管理区（包括办公、值班、管理和休息等）；

4.备区（包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房）。

二、无尘室工程净化原理：

气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化重复以上过程，即可达到净化目的。

三、无尘室工程净化参数：

1.换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa 。

2.平均风速：10级、100级0.3－0.5m/s；温度冬季＞16℃；夏季＜26℃；波动±2℃。

3.温度45－65％；GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。

4.噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10％－30％；照度300LX。

四、无尘室工程结构材料：

1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。

2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。

3.送回风管道用热镀锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。

五、无尘室工程解决方案:

净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。