德国英福康(INFICON)电容隔片真空计SKY®

德国英福康(INFICON)电容隔片真空计SKY® CDG025D 英福康真空计江苏总代理昆山英福康INFICON真空计上海南京英福康INFICON

概述

益处

全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
卓越的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染保护
一键调零功能
电源范围广

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备

常规高精度压力测量

规格

类型		1000 Torr / 1100 mbar	500 ... 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
温度效应
零点	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
满量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
压力，最大	kPa (absolute)	400	260	260	130	130
反应时间 (2)	ms	30	30	30	130	130
最低读数	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
建议的最低读数	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
建议的最低控制压力	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
温度
运行（环境）	°C	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50
在法兰处烘烤 (3)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65
电源电压	V (dc)	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30
功耗	W	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10
保护等级		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
标准
CE 合规		EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
设定点 (4)
设定点数量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
继电器触点		30	30	30	30	30
滞后	percent FS	1	1	1	1	1
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass
内部容积
1/2'' 管	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)
DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)
DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)
8 VCR®	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)
重量
1/2'' 管	g
DN 16 ISO KF	g
DN 16 CF-R	g
8 VCR®	g

(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复，运行 2 小时后不产生温度效应。

(2) 增加 10 … 90 % FS

(3) 非运行

(4) 仅适用于 CDG025D-S

(5) 28% 镍、23% 钴、49% 铁

(6) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁