SQM-160 薄膜沉积监控器英福康INFICON 进口检漏仪苏州无锡常州武汉成都英福康INFICONSQM-160 薄膜沉积监控器西安湖州青岛SQM

SQM-160 薄膜沉积监控器

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。

传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。此外，还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。

功能

两个标准测量通道，另外四个可选
模拟输出便于记录速率/厚度
高分辨率选项：每秒 10 个读数时 0.03 赫兹

RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网

规格

类型	SQM-160 Standard Resolution	SQM-160 High Resolution
QCM 传感器输入	Standard: 2; optional: 4	Standard: 2; optional: 4
测量频率范围	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1)	± 0.30 Hz	± 0.03 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2)	± 0.37 Å	± 0.037 Å
测量周期	0.10 to 2.0 s (adjustable)	0.10 to 2.0 s (adjustable)
测量过滤器	1 to 20 readings	1 to 20 readings
存储薄膜	99	99
模拟输出	Two 0 to 5 VDC, rate & thickness	Two 0 to 5 VDC, rate & thickness
数字输入/输出	Two inputs, four relay outputs	Two inputs, four relay outputs
通信接口	Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet	Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet
功率	100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W	100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 合规性	Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD	Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD
壳体/安装	1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")	1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量	2.7 Kg (6 lbs)	2.7 Kg (6 lbs)
Windows 软件（集成）	Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right.	Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right.

(1) 0.10 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率= 6 赫兹，0.10 秒测量间隔

附件

名称	说明
前装式单传感器	前装式单传感器
前装式双传感器	前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器	炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器	炫酷抽屉双传感器
UHV 可烘烤传感器	UHV 可烘烤传感器
溅射传感器	溅射传感器

零件号	明细
782-900-008	用于一台 SQM-160 或 CI-100 仪器的 19 in. 机架安装套件
782-900-014	用于两台 SQM-160 或 CI-100 仪器的 19 in. 机架安装套件
782-502-096-G1	USB 扩展卡
782-502-097-G1	以太网扩展卡
Oscillator kits	（包括振荡器和电缆）
783-500-109-10	3 米（10 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 3 米（10 英尺）BNC 电缆
783-500-109-25	7.6 米（25 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆
783-500-109-50	15.2 米（50 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆
783-500-109-75	22.8 米（75 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆
Oscillator Only	（未随附电缆）
783-500-013	仅 OSC-100 振荡器（无电缆）
Cables
782-902-011	15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，公型/母型
782-902-012-10	3 米（10 英尺）BNC 电缆，公型/公型
782-902-012-25	7.6 米（25 英尺）BNC 电缆，公型/公型
782-902-012-50	15.2 米（50 英尺）BNC 电缆，公型/公型
782-902-012-75	22.8 米（75 英尺）BNC 电缆，公型/公型

耗材

名称	说明
石英监控器晶体	石英监控器晶体