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IQM-233 薄膜沉积控制器 PCI-Express 卡 英福康INFICON 膜厚仪控制卡 昆山苏州英福康INFICON真空计 合肥重庆成都杭州英福康真空
IQM-233 薄膜沉积控制器 PCI-Express 卡
在 PCI EXPRESS
卡上实现低成本镀膜控制
IQM-233
PCI Express 卡可使您的 PC 变成薄膜膜厚控制仪。这种由 INFICON 设计和制造的产品是OEM 系统集成商或要将薄膜膜厚控制仪集成到现有 PC
或 PLC 控制系统的所有厂商的理想选择。安装简便—只需您提供一个未占用的 PCI Express 插槽。IQM-233 可安装到标准或小型 PC
机箱中。
无与伦比的功能
IQM-233
可在每个卡上提供三个 QCM 探头输入和三个源输出。单台 PC 上最多可安装两个 IQM-233 卡(需要可选软件IQS-233
),其最多可提供六个探头输入和六个源输出。只有 INFICON 才能如此灵活地完全实现集成 PC 控制 QCM 探头。
IQM-233 可与 INFICON 振荡器 IPN
782-900-010 兼容,因此更换 SQM-242 卡不需要安装新振荡器。它还与所有 INFICON 单探头和双探头兼容。
选择最适合您的软件解决方案
IQM-233
随附基本 Windows® 软件,用于通过单 IQM-233 卡设置或控制连续镀膜或共镀膜过程。通过可选 IQS-233 共镀膜 Windows®
软件可进行更加复杂的工艺设置,包括多层共镀膜、图型以及PLC与继电器的集成/输入功能。IQS-233 软件最多允许使用两个 IQM-233 卡。
作为希望编写自有软件的客户的备选方案,IQM-233
所包含的 LabVIEW ™ 样板程序可提供基本功能和编程技术的演示。
功能
- PCI Express
- 三个传感器输入,三个控制输出
- 在 PC 中安装多个卡
- 多源共沉积
- 易于进行 PLC 集成以增加 I/O 功能
- 使用方便
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物有所值
规格
类型 IQM-233 PC 接口 PCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)传感器输入和性能 探头输入 3 连接器 SMA - Includes one SMA/BNC adapter 频率分辨率 (1) ±0.10 Hz @ 6 MHz 测量频率范围 Adjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum厚度和速率分辨率/测量 (2) ±0.12 Å 测量周期 0.1 to 2.0 s (adjustable) 输出 源输出 3 连接器 15-pin high density D-sub 信号 0 to +/- 10 V (dc) 分辨率 15 Bit Plus Sign 阻抗 50 Ω (1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率= 6 赫兹,0.25 秒测量间隔零件号
IQM-233 零件号 明细 782-IQM-233-G1 用于标准 PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡 782-IQM-233-G2 用于小尺寸架构 (SFF) PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡 782-IQS-233 IQS-233 共沉积软件 附件
名称 说明 前装式单传感器 前装式单传感器 前装式双传感器 前装式双传感器 炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉双传感器 炫酷抽屉双传感器 UHV 可烘烤传感器 UHV 可烘烤传感器 溅射传感器 溅射传感器 零件号 明细 Oscillator kits (包括振荡器和电缆) 783-500-109-10 3 米(10 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 3 米(10 英尺)BNC 电缆 783-500-109-25 7.6 米(25 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆 783-500-109-50 15.2 米(50 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆 783-500-109-75 22.8 米(75 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆 Oscillator Only (未随附电缆) 783-500-013 仅 OSC-100 振荡器(无电缆) Cables 600-1441-P1 SMA 至 BNC 适配器,用于 IQM-233 传感器输入 782-902-011 15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,公型/母型 782-902-012-10 3 米(10 英尺)BNC 电缆,公型/公型 782-902-012-25 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆,公型/公型 782-902-012-50 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆,公型/公型 782-902-012-75 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆,公型/公型
耗材
名称 | 说明 |
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石英监控器晶体 | 石英监控器晶体 |