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英福康INFICON QMG 700 分析质谱仪 气体分析仪 英福康 进口检漏仪 苏州无锡南通英福康质谱仪 湖州南京合肥广州重庆成都贵阳质谱仪 长沙西安质谱仪
功能
- 质量范围选择为 1-2048 amu
- 超过九个数量级的动态量程
- 极快的测量速度:0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
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涵盖整个质量范围的高分辨率:质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离
- 超过 10 个不同的离子源和离子光学组合
- 离散或连续倍增电极电子倍增器选件
- 用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器
- IO 选项:8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出
- 软件功能强大,灵活实用且具友好的用户界面
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QMG 700 分析质谱仪 (AMS) 是适合以下应用的成熟解决方案:
- 气体排放质谱分析
- 终点检测
- 沉积材料监控
- 二次离子质谱分析
规格
类型 QMA 400 QMA 410 QMA 430 质量范围 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu 传感器长度 441.5 mm 548 mm 441.5 mm 杆直径 8 mm 16 mm 8 mm 杆材料 Molybdenum Molybdenum Stainless Steel 法兰 DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F 检测器类型 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 最大工作压力 (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 最大工作压力 (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 灵敏度 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar 最小可检测分压 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar 分辨率(可调) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu 分压比 < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb 最高工作温度 传感器 150 °C 150 °C 150 °C 最高烘烤温度 400 °C 400 °C 400 °C 最高工作温度 电子单元 40 °C 40 °C 40 °C 测量速度 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 电源 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC
(1) QMA 400 的可检测质量范围为:1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。
QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置
(2) QMA 410 的可检测质量范围: 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。
QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置