自调节/数字PID压力控制器
651型自调节/数字PID阀门控制器可以快速、精确的驱动MKS的653或者253型排气节流阀。它的自调节算法使它可以比普通的控制器更快地达到系统的设定点，并确保在没有操作工参与的情况下保证工艺菜单的可重复性。通过了解时间常数、阀门和管道的传输函数、阀门增益和其它重要参数，651的自调节功能可在阀门的设定范围内决定最佳的控制参数。

MKS 651C订购资料：

例如：型号651CD2S1N

通讯界面 采购序列号

RS232 2

阀门驱动器

步进电机 S

电源

0.5Amp 1

1.5Amp 2

选配件

无 N

备用电池 B

651C的配套电缆线：

输入电缆：

CB112-2-10 用于将651连接到MKS 223,225,622,623,722（接线端子）

CB259-5-10 用于将651连接到624,625,626,627,628,722(15针接口）

CB120-6-10 用于将651连接到120

CB112-10-10 用于将651连接到220

CB112-14-10 用于将651连接到121,221

阀门电缆线：

CB652-1-10 用于将651连接到653B

CB651-30-10 用于将651连接到253B