微调阀GW系列
阀体:铝合金,铜合金
密封圈:氟橡胶
波纹管:不锈钢
真空内部材料:不锈钢,无氧铜
通径:0.8;1.4
法兰:10KF
详细介绍
高真空微调进气阀能精确的控制每单位时间内气体的流量泄露到真空腔室。此阀的截流孔变化是通过微调螺纹机械带动阀针的上下位移来达到,从而精密的控制了阀门的气体泄露量。本阀的动密封采用不锈钢波纹管密封(1.4除外),保证了阀门动密封的可靠性。为了防止粉尘的进入,在阀的气流入口,装有过滤气片,这样大大提高了阀门的使用寿命。本阀针的上下位移均有限位装置,保证了阀针,阀座及波纹管的寿命。阀们的适用介质为空气及非腐蚀性气体。为了让用户使用方便,本系列微调阀可带有或不带有截止阀,从而更进一步提高了针阀的使用寿命及便于用户操作。本阀若有变动不在另行通知,但不改变使用目的。
性能指标:
•可变漏率范围:1000~1×10-5CM·S-1 •此阀可满足设备所需的全量程的泄漏调节
•对漏率的可变范围进行无级控制 •漏率:<1.0×10-7Pa·L·S-1 •良好的阀位重复性
•烘烤温度:120℃ •工作温度:80℃ •精确的微米比例尺,可对特定气体的流量的零位设置进行重复调节。
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