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产品型号：美国MKS MF1质量流量计
公司名称：昆山熙日机械设备有限公司
所在地：江苏昆山
发布时间：2016-03-31
昆山熙日机械设备有限公司
产品简介
美国MKS MF1质量流量计 苏州无锡上海南通MKS质量流量计 湖州厦门泉州湛江MKS质量流量控制器
产品详情
美国MKS MF1质量流量计 苏州无锡上海南通MKS质量流量计 湖州厦门泉州湛江MKS质量流量控制器
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MKS MF1
MKS MF1质量流量控制器
橡胶密封紧凑型数字质量流量控制器
MKS MF1通用数字质量流量控制器。精度为设定值的±1%、800毫秒。满量程范围从10sccm-20slm。各种模拟和数字（RS485，Ether CAT、Profibus、modbus）通讯接口可选。
|
例如：型号MF1C01311CRAV0 |
采购序列号 |
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MF1质量流量控制器 |
MF1 |
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类型 |
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|
MFC |
C |
|
MFM |
M |
|
用于校准的气体 |
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|
氮气N2 |
013 |
|
氨气NH3 |
029 |
|
六氟化硫SF6 |
110 |
|
其他气体 |
可选 |
|
流量范围，sccm量程 |
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10 |
11C |
|
20 |
21C |
|
50 |
51C |
|
100 |
12C |
|
200 |
22C |
|
500 |
52C |
|
1000 |
13C |
|
2000 |
23C |
|
5000 |
53C |
|
10000 |
14C |
|
20000(不可使用Kalrez密封) |
24C |
|
10slm（仅Pfofibus通讯，通讯选项P） |
11L |
|
20slm（仅Pfofibus通讯，通讯选项P） |
21L |
|
装配件 |
|
|
4VCR |
R |
|
4VCO |
G |
|
1/4 |
S |
|
6mm |
M |
|
DN KF16 |
D |
|
MKS表面安装 |
E |
|
通讯接口 |
|
|
模拟，D型9针插座 |
A |
|
Profibus DP D型9孔插座 |
P |
|
RS485，D型9针插座 |
5 |
|
USB |
U |
|
密封材料 |
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|
标配：Vition |
V |
|
选配：Buna-N |
B |
|
选配：Kalrez |
K |
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附加选件 |
|
|
无附加选件 |
0 |
|
特殊选件 |
S |
|
初始配置文件 |
C |
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