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MKS MF1质量流量控制器
橡胶密封紧凑型数字质量流量控制器
MKS MF1通用数字质量流量控制器。精度为设定值的±1%、800毫秒。满量程范围从10sccm-20slm。各种模拟和数字(RS485,Ether CAT、Profibus、modbus)通讯接口可选。
例如:型号MF1C01311CRAV0 |
采购序列号 |
MF1质量流量控制器 |
MF1 |
类型 |
|
MFC |
C |
MFM |
M |
用于校准的气体 |
|
氮气N2 |
013 |
氨气NH3 |
029 |
六氟化硫SF6 |
110 |
其他气体 |
可选 |
流量范围,sccm量程 |
|
10 |
11C |
20 |
21C |
50 |
51C |
100 |
12C |
200 |
22C |
500 |
52C |
1000 |
13C |
2000 |
23C |
5000 |
53C |
10000 |
14C |
20000(不可使用Kalrez密封) |
24C |
10slm(仅Pfofibus通讯,通讯选项P) |
11L |
20slm(仅Pfofibus通讯,通讯选项P) |
21L |
装配件 |
|
4VCR |
R |
4VCO |
G |
1/4 |
S |
6mm |
M |
DN KF16 |
D |
MKS表面安装 |
E |
通讯接口 |
|
模拟,D型9针插座 |
A |
Profibus DP D型9孔插座 |
P |
RS485,D型9针插座 |
5 |
USB |
U |
密封材料 |
|
标配:Vition |
V |
选配:Buna-N |
B |
选配:Kalrez |
K |
附加选件 |
|
无附加选件 |
0 |
特殊选件 |
S |
初始配置文件 |
C |
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