MKS DELTA系列流量比例控制器

DELTA 流量比例控制器DELTA流量比例控制器是MKS数字控制和基于网络产品系列中一个关键的工艺控制单元，它具有最新的气体流量比例测量和控制技术，以满足多通道流量分送的需求 。 DELTA 质量流量比例控制器能够分离和控制工艺混合气体，使它流向多个反应室或同一反应室中的不同区域，具体的流量比例可由用户根据提高工艺均匀性和可重复性的需求来确定，DELTAN
流量比例控制器凭借着其更优异的性能和更紧凑的设计成为MKS领先业界的Delta气体流量比例控制器的第二代产品。 在广泛使用的不同流量分离应用中，如在刻蚀．去胶和PEVCD设备中，DELTA Ⅱ能使用户将气体或混合气体分送至同一反应室的多个不同区域，在DELTA 中设定气体（或混合气体） 的比率，FRC会自动而且精确地将气体送到多个不同出口通道。

MKS DELTA产品订购资料：

DELTA Ⅱ

DELTA Ⅲ

DELTA Ⅳ

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美国MKS DELTA质量流量控制器

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