MKS 1150C/1152C基于压力的质量流量控制器

1150C/1152C蒸汽源质量流量控制器MFC是一种基于压力的测量和控制系统用于直接测量和控制从低蒸汽压液体源和固体源中产生的蒸汽，而无需其它运载气体。1150C/1152C由一个固定流体单元、一个用于流量测量的电容压力计和一个用于流量控制的比例电磁控制阀（美国专利号NO:4679585）组成。1150C/1152C组装为一个紧凑的、可控制温度的组件，配有一个温度状态LED显示器和继电器来显示温度是否处于合适的范围。

MKS 1153A低蒸汽压源输运系统

MKS开发的1153可将固态源或低蒸汽压液态源产生的蒸汽数量可控地输送到反应室中其输送速率能够满足高产额的要求。1153低蒸汽压源控制器是一个基于压力的测量和控制系统，用于直接测量和控制从低蒸汽压液态和固态源中发出的蒸汽，而无需其它输运气体。这种基于压力的技术使用了两个MKS压力传感器，一个气流新以及―个高温电磁阀门来实现对蒸汽流量的控制。它使用了一个合适的加热部件，以实现对温度的严格控制。